金相顯微鏡暗場主要是分辨非金屬夾雜物的具體類別,非金屬夾雜物分為透明和不透明兩大類。在暗場里面夾雜物色彩和透明度可以得到較充分的顯現(xiàn)。如果是觀察夾雜物的色彩及透明度進行觀察時,應(yīng)該在暗場或偏振光的金相顯微鏡下進行。
暗場金相顯微鏡是一種多用途工業(yè)檢驗顯微鏡。暗場金相顯微鏡視場寬闊,成像清晰明亮,操作舒適,是半導(dǎo)體硅晶片、掩模板、LCD基板、生物,金相試樣及其它不透明工業(yè)試樣的理想檢驗儀器。暗場金相顯微鏡可選配高精度大行程載物臺,便于大尺寸試樣的檢驗。暗場金相顯微鏡還可選配顯微攝影射像,數(shù)碼相機、暗場、偏光及試樣壓平器等附件。
使用暗場照明時的步驟:
(a)孔徑光欄、視場光欄都要開大;
(b)將暗場遮光反射鏡插入光路。入射光中插入暗場遮光反射鏡后,使入射光變成環(huán)形光環(huán)。
(c)將暗場聚光鏡套在物鏡外面。入射光環(huán)不通過物鏡,而經(jīng)暗場聚光鏡反射之后,以大的傾斜角照射到試樣表面,實現(xiàn)傾斜光照明。
(d)要將光路中明場用的平面半反射鏡拉出來,它已不起作用。這樣,使入射光不能進入物鏡,提高了成像質(zhì)量。暗場環(huán)形反射鏡已固定在光路里,將暗場遮光反射鏡造成的環(huán)形光束反射到置于外面的“暗場聚光鏡”表面上,然后以大的傾斜角反射到試樣表面上。
傾斜光照射到試樣表面平坦部位反射光會以相同的角度反射回去,這部分反射光不能到達物鏡,視場內(nèi)是暗黑的。而使光線產(chǎn)生漫反射的凹凸處、透明夾雜物處等,因漫反射使部分光線可到達物鏡,在視場內(nèi)觀察到是明亮的,因此形成在暗黑的基體上有部分明亮的映像。因此稱這種照明方式為暗場照明。